原子氧曝光系統

1. 產品介紹：

ATOMS 原子氧暴露測量系統是一款模擬低地球軌道條件下的材料測量系統，即將材料暴露于熱原子氧和VUV-UV光的測量系統。原子氧是在暴露室上游通過氧氣的射頻分離產生，原子氧通過RFX-500大功率原子氧發生器產生濃度可達10^15原子/cm.這相當于約2*10^16cm2/s 的原子氧通量，等效于用Kapton劑量儀測量的5eV原子通量。主要應用于地面評估航空航天材料暴露在低地球軌道條件下由于原子氧和真空紫外的侵蝕造成材料性能的變化。

材料上的原子氧密度分布可以用基于共振吸收技術的原子氧密度剖面儀進行原位測量，一束130.2nm的原子氧共振峰的光束直接穿過暴露室，該光束被暴露室中的氧原子吸收，吸收的量可以通過VUV日盲型真空紫外探測器進行測量，通過掃描光程可確定材料上原子氧密度分布。

該系統也可通過UV和VUV紫外光源模擬太陽光譜進而評估材料同時暴露在紫外光和原子氧的情況下材料性能的變化。紫外或真空紫外光源以及原子氧密度剖面儀的接口適用性強能夠輕易的將之應用在現有的原子氧暴露評價系統上。

2. 產品型號:

我們同時提供三種完整的原子氧暴露評價系統以適應不同的應用和預算。

·                     原子氧暴露評價系統高配版

·                     原子氧暴露評價系統標準版

·                     原子氧暴露評價系統預算節省版

其中高配版和標準版均包含原子氧暴露/VUV輻射同時包含原子氧密度測量系統。

注：

完整的系統包含泵安裝在47.5cm的機架上；

標準系統整體放在高度為1.8m的架子上；

預算節省系統安裝在一半高的架子上；

原位原子吸收/分子吸收/熒光測量系統；

OAMS和NAMS氧吸收和氮原子測量系統；

剖面分析系統，輻射度/原子氧密度剖面分析儀/氮原子密度分析儀；

3. 子系統和選項:

每個子系統可以作為完整系統的一部分也可單獨進行購買。

原子氧暴露室（AO-EC）

Pyrex 真空玻璃倉室

可快速拆卸的直徑為5cm的圓形樣品架；

進氣歧管；

帶臭氧過濾器和節流閥的出口泵閥箱；

額外的樣品夾/RGA/原子氧密度分析器/真空紫外/紫外模擬器準備的多個接口；

真空紫外/紫外太陽模擬器（VUV-UV-SS）

3個覆蓋115-400nm的真空紫外-紫外光源；

3套CF安裝法蘭和燈適配器；

用一等效的太陽輻射真空紫外-紫外對樣品進行輻射照射；

光源包括

Krypton 連續光源(KrCM-L);

 Xenon連續光源（XeCM-L）;

Xenon 閃光源（XeCQ-LF）;

原位測量系統兩種原位測量模式（通過不同的方法測量原子/分子密度）

a)       基于吸收原理對原子或分子進行測量；

b)       基于熒光的原理對原子或分子進行測量；

檢測種類取決于使用的燈源和探測器；

檢測種類包括：

原子：氧/氮/氯/氫；

分子：OH/NO/CO

4. 產品特點

a.  模擬低地球軌道：樣品暴露在連續的熱原子氧流中；

b.  高通量：原子氧通量可達2*10¹⁹cm²/sec(2*10¹⁶cm²/sec相當于用Kapton放射計量計測得的5eV的原子氧通量) ；

c.  快速測量周期：對Kapton材料侵蝕量測量僅需1/2小時，一般典型的暴露時間是2小時；

d.  無干擾物干擾：樣品在活躍的等離子體下游，不會受到等離子體設施內不可控制離子/亞穩態物質/UV輻射的影響；

e.  太陽模擬器：同時用三個VUV&UV光源進行太陽輻射模擬，更真實域更寬；

f.  原位原子氧密度測量：通過樣品的原子氧密度可通過吸收的方法進行測量。